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氮化鋁燒結(jié)爐（臥式）

產(chǎn)品描述：: 氮化鋁燒結(jié)爐（臥式）主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的氮化鋁陶瓷胚體和制品的氣氛燒結(jié)、真空燒結(jié)。

應(yīng)用范圍：: 載盤、導(dǎo)軌和工件臺(tái)、機(jī)械臂、靜電吸盤、透明陶瓷、靶材等、高導(dǎo)熱基板、加熱器、結(jié)構(gòu)件

產(chǎn)品咨詢索取報(bào)價(jià)400-677-0098

技術(shù)特征
產(chǎn)品規(guī)格
配置選擇

氮化鋁燒結(jié)爐（臥式）技術(shù)特征

采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置，爐溫均勻性好；

全密閉馬弗，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

可具備真空燒結(jié)、負(fù)壓脫脂燒結(jié)、載氣脫脂燒結(jié)等功能；

可選配脫脂系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結(jié)一次性處理；

適于工藝氣氛：N₂/Ar/H₂。

氮化鋁燒結(jié)爐（臥式）產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號(hào)	HSN-040418	HSN-050515	HSN-060612	HSN-060618
工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm）	400×400×1800	500×500×1500	600×600×1200	600×600×1800
最高溫度（℃）	1500-2000	1500-2000	1500-2000	1500-2000
溫度均勻性（℃）	±5~±10	±5~±10	±5~±10	±5~±10
極限真空度（Pa）	10^-4-100	10^-4-100	10^-4-100	10^-4-100
壓升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

氮化鋁燒結(jié)爐（臥式）配置選擇

爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì)：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/陶瓷

熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)（鎢套管/鉬套管/陶瓷管）

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