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氧化鋁燒結(jié)爐

產(chǎn)品描述：: 氧化鋁燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的氧化鋁陶瓷胚體和制品的氣氛燒結(jié)、真空燒結(jié)。

應(yīng)用范圍：: 載盤、導(dǎo)軌和工件臺、機(jī)械臂、靜電吸盤、透明陶瓷、靶材等、高導(dǎo)熱基板、加熱器、結(jié)構(gòu)件。

產(chǎn)品咨詢索取報價400-677-0098

技術(shù)特征
產(chǎn)品規(guī)格
配置選擇

氧化鋁燒結(jié)爐技術(shù)特征

采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置，爐溫均勻性好；

具備柔性抽真空，真空燒結(jié)、微正壓燒結(jié)、分壓燒結(jié)等功能；

采用先進(jìn)的隔熱結(jié)構(gòu)和材料，爐膽隔熱性能好、蓄熱少，比傳統(tǒng)設(shè)計節(jié)能20%以上；

采用特殊的高溫紅外測量技術(shù)，控溫準(zhǔn)確，誤差小；

適于工藝氣氛：N₂/Ar/H₂。

氧化鋁燒結(jié)爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號	HSO-040418	HSO-050515	HSO-060612	HSO-060618	VSO-0612	VSO-0812	VSO-1015
工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm）	400×400×1500	600×600×1200	1000×800×1300	1000×800×2500	φ600×1200	φ800×1200	φ1000×1500
最高溫度（℃）	1500-2000	1500-2000	1500-2000	1500-2000	1500-2000	1500-2000	1500-2000
溫度均勻性（℃）	±5~±10	±5~±10	±5~±10	±5~±10	±5~±10	±5~±10	±5~±10
極限真空度（Pa）	10^-4-100	10^-4-100	10^-4-100	10^-4-100	10^-4-100	10^-4-100	10^-4-100
壓升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

氧化鋁燒結(jié)爐配置選擇

爐門鎖緊方式：手動/自動

爐殼材質(zhì)：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/固化氈/陶瓷纖維氈/金屬

加熱器：金屬/石墨

熱電偶：C分度號（鎢套管/鉬套管/陶瓷套管）

紅外儀：單比色/雙比色

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