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          關(guān)鍵詞:真空燒結(jié)爐陶瓷燒結(jié)爐高溫真空燒結(jié)爐碳化硅陶瓷燒結(jié)爐
          碳化硅燒結(jié)爐(臥式)
          碳化硅燒結(jié)爐(臥式)
          產(chǎn)品描述:
          主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的碳化硅陶瓷制品的真空燒結(jié)、氣氛燒結(jié)。
          應(yīng)用范圍:
          碳化硅陶瓷平臺(tái)、導(dǎo)軌、方鏡、反射鏡、晶舟、槳、爐管、吸盤、卡盤、機(jī)械臂、聚焦環(huán)、刻蝕環(huán)、流化床反應(yīng)容器等

          碳化硅燒結(jié)爐(臥式)技術(shù)特征

          可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;

          采用頂立科技專屬超高溫、大電流引電技術(shù),能在高溫條件下長(zhǎng)時(shí)間使用;

          采用特殊的高溫紅外測(cè)量技術(shù),控溫準(zhǔn)確,誤差小;

          全密閉馬弗,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

          多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,易清理;

          可選配脫脂系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結(jié)一次性處理;

          適于工藝氣氛:N2/Ar。

          碳化硅燒結(jié)爐(臥式)產(chǎn)品規(guī)格

          參數(shù)\型號(hào)HSC-050511HSC-100612HSC-101015H(D)SC-101050
          工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm) 500×500×1100 1000×600×1200 1000×1000×1500 1000×1000×5000
          最高溫度(℃) 1500-24001500-24001500-24001500-2400
          溫度均勻性(℃) ±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
          極限真空度(Pa) 1-1001-1001-1001-100
          壓升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67

          以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

          碳化硅燒結(jié)爐(臥式)配置選擇

          結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

          爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)

          爐殼材質(zhì):全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

          保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

          加熱器、馬弗材質(zhì):等靜壓石墨/CFC/陶瓷

          熱電偶:K/N/C/S分度號(hào)

          紅外儀:?jiǎn)伪壬?雙比色

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