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          關(guān)鍵詞:真空脫脂壓力燒結(jié)爐氣壓燒結(jié)爐陶瓷壓力燒結(jié)爐氮化硼燒結(jié)爐
          氮化硅壓力燒結(jié)爐(臥式)
          氮化硅壓力燒結(jié)爐(臥式)
          產(chǎn)品描述:
          氮化硅壓力燒結(jié)爐(臥式)主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域氮化硅陶瓷制品的真空燒結(jié)和氣壓燒結(jié)等。
          應(yīng)用范圍:
          氮化硅陶瓷球、軸承、導(dǎo)熱基板、平臺、導(dǎo)軌、刀具、結(jié)構(gòu)件等。

          氮化硅壓力燒結(jié)爐(臥式)技術(shù)特征

          采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置,爐溫均勻性好;

          全密閉馬弗,密封效果好,抗污染能力強;

          可具備真空燒結(jié)、壓力燒結(jié)、負壓脫脂燒結(jié)等功能;

          具有超溫超壓等故障報警,機械式自動壓力保護,動作互鎖等功能,設(shè)備安全性高;

          可選配脫脂系統(tǒng),實現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結(jié)一次性處理;

          適于工藝氣氛:N2/Ar/H2

          氮化硅壓力燒結(jié)爐(臥式)產(chǎn)品規(guī)格

          型號/參數(shù)HPSF-4412HPSF-5518HPSF-6615HPSF-6618HPSF-9915
          工作區(qū)尺寸
          W×H×L(mm)
          400×400×1200500×500×1200500×500×1800600×600×1800900×900×1500
          最高溫度(℃)20002000200020002000
          溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
          極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
          最高壓力(MPa)10<10<10<10<10

          以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。

          氮化硅壓力燒結(jié)爐(臥式)配置選擇

          結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

          爐門鎖緊方式:手動/自動

          爐殼材質(zhì):全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼/Q345

          保溫材質(zhì):碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

          加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC

          熱電偶:K/N/C/S分度號(鎢套管/陶瓷套管)

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