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          關鍵詞:真空脫脂壓力燒結爐壓力燒結爐真空燒結爐陶瓷燒結爐
          氮化硅壓力燒結爐(立式)
          氮化硅壓力燒結爐(立式)
          產品描述:
          氮化硅壓力燒結爐(立式)主要用于半導體領域氮化硅陶瓷制品的真空燒結和氣壓燒結等。
          應用范圍:
          氮化硅陶瓷球、軸承、導熱基板、平臺、導軌、刀具、結構件等。

          氮化硅壓力燒結爐(立式)技術特征

          采用特殊的爐膽結構和加熱器布置,爐溫均勻性好;

          全密閉馬弗,密封效果好,抗污染能力強;

          可具備真空燒結、壓力燒結、負壓脫脂燒結等功能;

          具有超溫超壓等故障報警,機械式自動壓力保護,動作互鎖等功能,設備安全性高;

          可選配脫脂系統,實現陶瓷制品的脫脂燒結一次性處理;

          適于工藝氣氛:N2/Ar/H2。

          氮化硅壓力燒結爐(立式)產品規格

          型號/參數VPSF-0612VPSF-0917VPSF-1015VPSF-1120
          工作區尺寸
          W×H×L(mm)
          φ600×1200φ900×1700φ1000×1500φ1100×2000
          最高溫度(℃)2000200020002000
          溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
          極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-100
          最高壓力(MPa)<10<10<10<10

          氮化硅壓力燒結爐(立式)配置選擇

          結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

          爐門鎖緊方式:手動/自動

          爐殼材質:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼/Q345

          保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

          加熱器、馬弗材質:石墨/CFC

          熱電偶:K/N/C/S分度號(鎢套管/陶瓷套管)

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          高性能陶瓷熱工裝備

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